X 射線光電子能譜檢測

項目

細則

收費

說明

手套箱進樣

空氣敏感樣品測試

400元/樣

/

XPS譜圖測試

寬譜和窄譜的掃描

寬譜：280 元/樣； 窄譜：140 元/樣

每超過30min 按 新樣算

XPS成像測試

選區和成像掃描 測試時間≤1h

840元/樣

每超過1h 按 1 個新樣算

深度剖析

Ar 離子刻蝕加元素窄 掃或成像

每層按 2 個樣算 +150 元/次刻蝕費

刻蝕時間 5min/次

主要規格及技術指標

1、本底真空度優于5*10-10mbar；

2、單色化AlKαX射線源，光斑尺寸200-900um，大光斑極限分辨率0.43eV；

3、XPS能譜分析尺寸20-900um，平行成像精度1um；

4、雙極性半球形分析器，可采集ISS離子散射譜，能量分辨率優于12eV；

5、配備同軸/離軸雙電子槍，可用于磁性和非磁性絕緣樣品的荷電中和測量，能量分辨率0.68eV；

6、配有Ar離子刻蝕和團簇離子刻蝕，可用于不同敏感性材料的深度剖析；

7、配有反射電子能量損失譜（REELS）,可用于氫元素的定量分析；

8、配有俄歇光電子能譜分析（AES），空間分辨率可達95nm，并能夠實現相應的形貌表征功能（SEM）。

 主要功能及特色

1. 該系統通過測量不同元素的芯能級，能夠實現高精度的元素和價態分析。
2. 該系統使用X-射線作為光源，能夠采集較大束縛能范圍的光電子能譜數據，實現對材料電子結構的完整表征。
3. 該系統具備微區分析功能，可以針對微米級別的特定區域開展元素組分與電子結構分析，是目前觀測薄膜樣品元素和價態分布，進而探索其生長機理的工具之一

主要附件配置

1、單色化AlKαX射線源，光子能量1486.6eV;

2、雙極性半球形分析器，可采集ISS離子散射譜，用于超薄表面的元素鑒定和同位素鑒定；
3、配備同軸/離軸雙電子槍，可用于磁性和非磁性絕緣樣品的荷電中和測量；
4、配有Ar離子刻蝕和團簇離子刻蝕，可用于不同敏感性材料的深度剖析；
5、配有反射電子能量損失譜（REELS）,可用于H元素的分析；
6、配有俄歇光電子能譜分析（AES），空間分辨率可達95nm，并能夠實現相應的形貌表征功能（SEM）；

7、配有角分辨ARXPS,用于10nm以內各深度的無損XPS分析。