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        晶圓片晶錠壽命檢測儀

        • 更新時間:  2020-09-02
        • 產品型號:  MDPpro
        • 簡單描述
        • 晶圓片晶錠壽命檢測儀用于常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量
        詳細介紹

        Mono- and Multi-crystalline wafer and brick lifetime measurement device

        應用范圍:用于常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量

         

         

        根據SEMI標準PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導性、電阻率和p/n檢查。

        晶圓切割,爐內監控,材料優化等。


        日常壽命測量,質量控制和檢驗
         
        ◆產量:>240塊/天或>720片/天
        ◆測量速度:對于156x156x400mm標準晶錠,<4分鐘
        ◆生產改善:1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
        ◆質量控制:用于過程和材料的質量監控,如單晶硅或多晶硅
        ◆污染測定:起源于爐和設備的金屬(Fe)
        ◆可靠性:模塊化和堅固耐用的工業儀器,更高的可靠性和運行時間> 99%
        ◆可重復性:> 99.5%
        ◆電阻率:不需要經常校準

        精密材料研發

        鐵濃度測定


        陷阱濃度測定

        硼氧測定

        依賴于注入的測量等

        特性


        *無觸點無破壞的半導體特性
        特殊的“表面之下”壽命測量技術
        不可見缺陷的 靈敏度的可視化
        自動切割標準定義
        空間分辨p/n電導型變換檢測

         


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